基本信息:
- 专利标题： 矢量水声传感器
- 申请号：CN201910941430.6 申请日：2019-09-30
- 公开(公告)号：CN110631688B 公开(公告)日：2022-01-25
- 发明人： 史晓晶 , 柳俊文
- 申请人： 南京元感微电子有限公司
- 申请人地址： 江苏省南京市浦口区高新技术开发区星火路17号创智大厦B座6楼
- 专利权人： 南京元感微电子有限公司
- 当前专利权人： 南京元感微电子有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市浦口区高新技术开发区星火路17号创智大厦B座6楼
- 代理机构： 北京中知法苑知识产权代理有限公司
- 代理人： 赵吉阳; 李明
- 主分类号： G01H11/06
- IPC分类号： G01H11/06 ; G01S7/521
摘要：
本发明提供一种矢量水声传感器，包括基板、设置在基板上的矢量芯片、以及与矢量芯片相连的水声接收件。矢量芯片包括硅衬底、沿至少两个不同方向设置在硅衬底上的水声测量件、芯片引脚、TGV玻璃以及设置在TGV玻璃中的金属化过孔，TGV玻璃夹设在基板和硅衬底之间，芯片引脚分别与水声测量件和金属化过孔连接。水声接收件，用于接收矢量水声信号；水声测量件，用于将矢量水声信号转换成矢量电信号；TGV玻璃，用于密封芯片引脚，并通过金属化过孔将矢量电信号传出。可测声场矢量信号，提高定位精度；可直接接触外界水环境介质，不需设置透声罩，避免透声罩带来的能量损耗，提高灵敏度；体积小，可缩小声呐系统体积，降低声呐系统工程的实施难度。
公开/授权文献:
- CN110631688A 矢量水声传感器 公开/授权日：2019-12-31
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01H | 机械振动或超声波、声波或次声波的测量 |
| ------G01H11/00 | 通过检测电或磁特性的变化测量机械振动或超声波、声波或次声波 |
| --------G01H11/06 | .用电的方法 |