基本信息:
- 专利标题： 薄膜体声波谐振器、滤波器及其制备方法
- 申请号：CN201910800141.4 申请日：2019-08-28
- 公开(公告)号：CN110504938B 公开(公告)日：2022-07-19
- 发明人： 张树民 , 王国浩 , 汪泉 , 陈海龙 , 郑根林 , 其他发明人请求不公开姓名
- 申请人： 杭州左蓝微电子技术有限公司
- 申请人地址： 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道6号大街452号2幢B711-714号房
- 专利权人： 杭州左蓝微电子技术有限公司
- 当前专利权人： 杭州左蓝微电子技术有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道6号大街452号2幢B711-714号房
- 代理机构： 杭州华鼎知识产权代理事务所
- 代理人： 项军
- 优先权： 2019106811510 20190726 CN
- 主分类号： H03H3/02
- IPC分类号： H03H3/02 ; H03H9/02 ; H03H9/17 ; H03H9/54
摘要：
本发明提供一种薄膜体声波谐振器、滤波器及其制备方法，属于电子制造技术领域，其可至少部分解决现有的谐振滤波器在功率承受能力上存在一定的限制——当输入功率增大时，器件散热受限，导致器件温度升高，引起器件频率出现漂移以及产生非线性，影响器件的性能。本发明采用SiC作为基片材料，将谐振器的电极与SiC基片相连，利用SiC基片的高热导率，将高输入功率引起的热量进行及时散除，避免器件的温度升高，并进而避免由于器件温度升高而引起的器件频率漂移和非线性问题，提高器件的性能。
公开/授权文献:
- CN110504938A 薄膜体声波谐振器、滤波器及其制备方法 公开/授权日：2019-11-26
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H3/00 | 专用于制造阻抗网络、谐振电路、谐振器的设备或方法 |
| --------H03H3/007 | .用于制造机电谐振器或网络 |
| ----------H03H3/02 | ..用于制造压电或电致伸缩谐振器或网络 |