基本信息:
- 专利标题： 一种类金刚石防护涂层及其制备方法和应用
- 申请号：CN202510065897.4 申请日：2025-01-16
- 公开(公告)号：CN119843223A 公开(公告)日：2025-04-18
- 发明人： 徐书生 , 柳宇震 , 修志昕 , 乐凯 , 宋威志
- 申请人： 中国科学院兰州化学物理研究所 , 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
- 申请人地址： 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
- 专利权人： 中国科学院兰州化学物理研究所,烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
- 当前专利权人： 中国科学院兰州化学物理研究所,烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市城关区天水中路18号
- 代理机构： 北京高沃律师事务所
- 代理人： 霍苗
- 主分类号： C23C14/22
- IPC分类号： C23C14/22 ; C23C14/06 ; C23C14/02
摘要：
本发明属于硬质薄膜技术领域，具体涉及一种类金刚石防护涂层及其制备方法和应用。本发明提供的类金刚石防护涂层的制备方法包括以下步骤：在柔性聚合物基材表面进行等离子气相物理沉积，形成类金刚石防护涂层；所述等离子气相物理沉积的条件包括：靶基距为15～50cm，真空度为0.1～10Pa，离子源电压为50～500V，离子源电流为0.5～10A，沉积时间为10～1200s，碳源气体的流量为50～500sccm，占空比为10～90％，沉积温度为10～25℃。本发明在特定条件下于室温下进行等离子气相物理沉积，制备得到的类金刚石防护涂层兼具良好的力学性能和透光率，用于微型柔性电子器件能够提高其可靠性和使用寿命。