
基本信息:
- 专利标题: 一种还原炉生产过程控制方法、装置、设备及存储介质
- 申请号:CN202411993589.X 申请日:2024-12-31
- 公开(公告)号:CN119828475A 公开(公告)日:2025-04-15
- 发明人: 钟伟民 , 薛栋 , 刘雄 , 彭鑫 , 钱锋
- 申请人: 华东理工大学 , 新特能源股份有限公司
- 申请人地址: 上海市徐汇区梅陇路130号
- 专利权人: 华东理工大学,新特能源股份有限公司
- 当前专利权人: 华东理工大学,新特能源股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市徐汇区梅陇路130号
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人: 徐伟
- 主分类号: G05B13/04
- IPC分类号: G05B13/04
摘要:
本申请涉及工业控制技术领域,具体涉及一种还原炉生产过程控制方法、装置、设备及存储介质。该方法通过还原炉系统构建自适应控制器,并根据预设更新策略,对自适应控制器的各组成网络进行更新处理,直至各组成网络满足预设收敛条件,从而通过更新后的自适应控制器,获得还原炉系统的目标控制策略,以控制还原炉系统的成本函数值达到目标值。如此,通过目标控制策略调整还原炉的控制输入,实现对硅棒表面温度与硅沉积速率等生产参数的稳定控制,提高了多晶硅生产效率和安全。
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G05 | 控制;调节 |
----G05B | 一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置 |
------G05B13/00 | 自适应控制系统,即系统按照一些预定的准则自动调整自己使之具有最佳性能的系统 |
--------G05B13/02 | .电的 |
----------G05B13/04 | ..包括使用模型或模拟器的 |