基本信息:
- 专利标题： 基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法
- 申请号：CN202411486115.6 申请日：2024-10-23
- 公开(公告)号：CN119380871A 公开(公告)日：2025-01-28
- 发明人： 周亚林
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 廖元宝
- 主分类号： G16C20/70
- IPC分类号： G16C20/70 ; C30B19/10 ; G16C20/10 ; G06N20/00
摘要：
本发明公开了一种基于强化学习的卧式液相外延生长设备的恒温区温度补偿方法，包括步骤：S1、获取卧式液相外延生长设备的恒温区内多个测量点的温度数据；S2、获取各温度数据中的最大值、最小值、平均值和标准差；同时将各温度数据与初始设定温度进行对比，得到偏差值；S3、将各温度数据中的最大值、最小值、平均值、标准差以及偏差值作为输入量输入至预先构建并训练好的强化学习训练策略模型中，得到各个温区的温度补偿值；其中强化学习训练策略模型预设有输入量与温度补偿值之间的映射关系。本发明具有操作简便、温度补偿快速精准等优点。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G16 | 特别适用于特定应用领域的信息通信技术 |
| ----G16C | 计算化学；化学信息学；计算材料科学 |
| ------G16C20/00 | 化学信息学，例如特别适用于处理化学粒子、元素、化合物或混合物的物理化学或化合物结构数据的ICT |
| --------G16C20/70 | .机器学习，数据挖掘或化学统计学 |