
基本信息:
- 专利标题: 一种银铝蚀刻液组合物
- 申请号:CN202411457944.1 申请日:2024-10-18
- 公开(公告)号:CN118957589B 公开(公告)日:2025-02-11
- 发明人: 张虎 , 钱凯 , 戴涛 , 柴雅倩
- 申请人: 润晶(合肥)光电材料有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内新汴河路以南蓝领公寓东300米润晶(合肥)光电材料有限公司
- 专利权人: 润晶(合肥)光电材料有限公司
- 当前专利权人: 润晶(合肥)光电材料有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内新汴河路以南蓝领公寓东300米润晶(合肥)光电材料有限公司
- 代理机构: 合肥汇融专利代理有限公司
- 代理人: 杨光宇
- 主分类号: C23F1/30
- IPC分类号: C23F1/30 ; C23F1/20 ; C23F1/44
摘要:
本发明提供一种银铝蚀刻液组合物,涉及蚀刻液技术领域。所述银铝蚀刻液组合物由无机酸、弱有机酸、无机碱、二草酸合铜酸钾、银离子络合剂、甘露醇、聚醚二元醇、4‑甲酰基苯硼酸和水组成,其中银离子络合剂为柠檬酸铵和乙二胺四乙酸铵混合制备,该蚀刻液对银膜和铝膜进行浸渍蚀刻。本发明克服了现有技术的不足,所述蚀刻液能够对铝和银提高刻蚀选择性和精度,并有效延长蚀刻液的使用寿命,减少废液产生。
公开/授权文献:
- CN118957589A 一种银铝蚀刻液组合物 公开/授权日:2024-11-15