基本信息:
- 专利标题： 一种含氟硅烷晶圆表面处理液
- 申请号：CN202310341405.0 申请日：2023-03-31
- 公开(公告)号：CN118726005A 公开(公告)日：2024-10-01
- 发明人： 王溯 , 郭杰 , 张怡 , 邢乃观 , 程鑫
- 申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 申请人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 代理机构： 上海弼兴律师事务所
- 代理人： 陈卓
- 主分类号： C11D7/50
- IPC分类号： C11D7/50 ; C11D7/28 ; C11D7/32 ; C11D7/60 ; H01L21/02
摘要：
本发明公开了一种含氟硅烷晶圆表面处理液。本发明的晶圆表面处理液的原料包括下列质量分数的组分：0.005％‑1％含氟硅烷、0.1％‑20％硅烷偶联剂和有机溶剂；各组分质量分数之和为100％；所述的有机溶剂补足余量。本发明的晶圆表面处理液处理晶圆之后，IPA接触角明显增大，在干燥过程中栅极间不会发生黏连，从而避免了栅极倒塌的发生。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D7/00 | 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 |
| --------C11D7/50 | .溶剂 |