基本信息:
- 专利标题： 一种含氟清洗液组合物及其应用
- 申请号：CN202210951419.X 申请日：2022-08-09
- 公开(公告)号：CN117625315A 公开(公告)日：2024-03-01
- 发明人： 王溯 , 蒋闯 , 冯强强 , 刘超勇
- 申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 申请人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 代理机构： 上海弼兴律师事务所
- 代理人： 马续红
- 主分类号： C11D1/722
- IPC分类号： C11D1/722 ; C11D3/04 ; C11D3/20 ; C11D3/28 ; C11D3/30 ; C11D3/32 ; C11D3/33 ; C11D3/34 ; C11D3/39 ; C11D3/60 ; H01L21/02
摘要：
本发明公开了一种含氟清洗液组合物及其应用。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％氧化型谷胱甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、氟化物、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L31、0.01‑2％1‑(苯并三氮唑‑1‑甲基)‑1‑(2‑甲基苯并咪唑)和水，水补足余量。本发明的含氟清洗液组合物可以高度选择性地移除TiN、TaN、TiNxOy、Ti硬遮罩和包含上述物质的合金的硬遮罩，且对具有等离子刻蚀后残余物和灰化后残余物清洗效果佳。本发明的选择性移除硬遮罩的清洗液对多种金属及电介质缓蚀性强，清洗效果佳。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D1/00 | 主要以表面活性化合物为基料的洗涤组合物；使用这些化合物作为洗涤剂 |
| --------C11D1/02 | .阴离子化合物 |
| ----------C11D1/722 | ..含混合的亚氧烷基的聚亚氧烷基醚 |