基本信息:
- 专利标题： 一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法
- 申请号：CN201710562469.8 申请日：2017-07-11
- 公开(公告)号：CN109234786B 公开(公告)日：2024-01-05
- 发明人： 方书农 , 马丽 , 李涛
- 申请人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 申请人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人： 上海新阳半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市松江区思贤路3600号
- 代理机构： 上海弼兴律师事务所
- 代理人： 薛琦; 邹玲
- 主分类号： C25D21/06
- IPC分类号： C25D21/06 ; C25D21/18
摘要：
本发明公开了一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法。该碳处理系统包括依次连接的电镀槽、碳处理系统和循环过滤系统，碳处理系统包括碳处理箱和顶部的自动加碳装置，碳处理箱顶部还设有LED光照系统，内部设有催化网；循环过滤系统包括由碳处理箱与碳粉过滤机连接形成的将碳粉回收循环至碳处理箱的第一循环回路，以及由碳粉过滤机与电镀槽连接形成的将电镀药水回收循环至所述电镀槽的第二循环回路；碳处理系统还包括自动排碳渣系统，其包括由碳处理箱和自动排碳渣装置连接形成的将滤液循环至碳处理箱形成的第三循环回路，自动排碳渣装置上还设有一碳渣排出口。本发明提供的碳处理系统处理效果好，操作方便快捷，可连续在线循环净化药水。
公开/授权文献:
- CN109234786A 一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法 公开/授权日：2019-01-18
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C25 | 电解或电泳工艺；其所用设备 |
| ----C25D | 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置 |
| ------C25D21/00 | 电解镀覆用电解槽的维护或操作方法 |
| --------C25D21/06 | .过滤 |