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发明公开 CN102390838A 一种非球形硅溶胶的制备方法  无效 - 撤回

基本信息 权利要求书 说明书全文 PDF全文 法律信息 相似专利 专利引用 案件信息 同族数据
一种非球形硅溶胶的制备方法
基本信息:
  • 专利标题: 一种非球形硅溶胶的制备方法
  • 专利标题(英):Preparation method of non-spherical silica sol
  • 申请号:CN201110240830.8 申请日:2011-08-22
  • 公开(公告)号:CN102390838A 公开(公告)日:2012-03-28
  • 发明人: 仲跻和 , 唐会明 , 马超 , 徐功涛
  • 申请人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
  • 申请人地址: 天津市西青区微电子园中晓园微六路2—B
  • 专利权人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
  • 当前专利权人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
  • 当前专利权人地址: 天津市西青区微电子园中晓园微六路2—B
  • 代理机构: 南京正联知识产权代理有限公司
  • 代理人: 卢霞
  • 主分类号: C01B33/14
  • IPC分类号: C01B33/14
摘要:
本发明提供了一种非球形硅溶胶的制备方法,包括以下步骤:(1)制备粒径20~50nm的非球形硅溶胶晶种母液;(2)制备醇低于5wt%的水溶性硅溶胶。本发明具有如下技术效果:本发明采用溶胶-凝胶法,通过对反应过程中的加料配比、物料浓度、反应液pH、反应温度进行工艺控制,直接制备出具有非球形结构的硅溶胶。本发明副反应少、生长周期短、工艺简单,不需加入添加剂、无机盐或进行表面改性等工艺。制备的硅溶胶能够应用于CMP技术粗抛过程的研磨抛光或作为其它粒子改性过程中所需的载体,非球形硅溶胶中球型颗粒所占的比例低于5%,胶体粒径在20~100nm可控,通过蒸发除水工艺控制水溶性硅溶胶中SiO2的含量为5~50wt%。

摘要(英):

The invention provides a preparation method of non-spherical silica sol. The method comprises steps that: (1) a non-spherical silica sol crystal seed mother liquor with a particle size of 20-50nm is prepared; (2) water-soluble silica sol with an alcohol content lower than 5wt% is prepared. The method provided by the invention has technical effects that: a sol-gel method is adopted; with process controls over material blending, material concentration, reaction liquid pH and reaction temperature during a reaction process, silica sol with a non-spherical structure is directly prepared. The method provided by the invention is advantaged in small amount of side reaction, short growing period, and simple technology. According to the method, no additive or inorganic salt is required to be added, and no surface modification process is required. The prepared silica sol can be used in a grinding and polishing process during a rough-polishing procedure in a CMP technology, and can be used as a carrier required in modification processes of other particles. In the non-spherical silica sol, content of spherical particles is lower than 5%. The particle size of the sol is controllable, and is 20-100nm. With an evaporation dehydration technology, the SiO2 content in the water-soluble silica sol is controlled at 5-50wt%.

信息查询:
中国专利公布公告 审查信息 Global Dossier Espacenet
IPC结构图谱:
C 化学;冶金
--C01 无机化学
----C01B 非金属元素;其化合物
------C01B33/00 硅;其化合物
--------C01B33/08 .含卤素的化合物
----------C01B33/12 ..硅石;其水合物,如勒皮硅酸
------------C01B33/14 ...胶体硅石,如分散体、凝胶、溶胶

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