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发明公开 CN101310951A 硅片切削崩边控制方法  无效 - 撤回

基本信息 权利要求书 说明书全文 PDF全文 法律信息 相似专利 专利引用 案件信息 同族数据
硅片切削崩边控制方法
基本信息:
  • 专利标题: 硅片切削崩边控制方法
  • 专利标题(英):Silicon slice cutting edge collapse control method
  • 申请号:CN200710057424.1 申请日:2007-05-22
  • 公开(公告)号:CN101310951A 公开(公告)日:2008-11-26
  • 发明人: 仲跻和 , 李家荣 , 高如山
  • 申请人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
  • 申请人地址: 天津市开发区微电子工业区中晓园2-B
  • 专利权人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
  • 当前专利权人: 天津晶岭电子材料科技有限公司
  • 当前专利权人地址: 天津市开发区微电子工业区中晓园2-B
  • 代理机构: 天津三元专利商标代理有限责任公司
  • 代理人: 胡婉明
  • 主分类号: B28D1/32
  • IPC分类号: B28D1/32
摘要:
本发明提供一种硅片切削崩边控制方法,包括将滚磨后的硅棒粘贴在切割机上,调整控制硅棒的自转速度、切割机进刀速度以及切割刀刀口的表面温度,对硅棒进行切削;其改进之处是,所述切割的进刀速度控制在0.02cm/min至0.1cm/min;所述硅棒自转速度控制在100转/min至500转/min;所述冷却水的流量控制在2L/min至5L/min;所述切割刀刀口的表面温度保持在40℃以下;其适用于硅片加工的内圆切割和线切割中,通过改变切削工艺条件,达到控制硅片切削崩边发生率的功效,工艺条件设计合理,操作简单方便,生产成本较低。

摘要(英):

The invention provides a method for controlling broken edge when cutting a silicon slice, which comprises that: a rolling-finished silicon rod is adhered to a cutting machine; the rotating speed of the silicon rode, the knife-advancing speed of the cutting machine and the surface temperature of the blade of a cutting knife are regulated and controlled for cutting the silicon rod. The improvements of the method are that: the knife-advancing speed for cutting is controlled at 0.02cm/min to 0.1cm/min; the rotating speed of the silicon rod is controlled at 100turn/min to 500turn/min; the flux of cooling water is controlled at 2L/min to 5L/min; the surface temperature of the blade of the cutting knife is maintained lower than 40 DEG C. The method is applicable to the internal circle cutting and the line cutting in the processing of the silicon slice. By changing the conditions of a cutting technology, the effect for controlling the incidence rate of the broken edge of the silicon slice is realized; thus having the advantages of reasonable design of technological conditions, simple and convenient operation and relatively low production cost.

信息查询:
中国专利公布公告 审查信息 Global Dossier Espacenet
IPC结构图谱:
B 作业;运输
--B28 加工水泥、黏土或石料
----B28D 加工石头或类似石头的材料
------B28D1/00 不包含在其他类目中的石头或类似石头的材料,例如砖、混凝土的加工;所用的机械、装置、工具
--------B28D1/32 .专门适用于加工易裂材料的方法或装置,例如用于加工云母、板石、片岩

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